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直流溅射
updated: 2026-07-16 15:00:42
释义
「直流溅射」是什么意思？
| 词语 | 直流溅射 |
|---|---|
| 拼音 | zhí liú jiàn shè |
| 拼音字母 | zhi liu jian she |
| 拼音首字母 | zljs |
| 注音 | ㄓˊ ㄌㄧㄡˊ ㄐㄧㄢˋ ㄕㄜˋ |
| 注音符号 | ㄓ ㄌㄧㄡ ㄐㄧㄢ ㄕㄜ |
扩展释义
直流溅射是指利用直流辉光放电产生的离子轰击靶材进行溅射镀膜的技术。直流溅射装置主要由真空室、真空系统和直流溅射电源构成。
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