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对准精度
updated: 2026-07-10 12:05:15
释义
「对准精度」是什么意思？
| 词语 | 对准精度 |
|---|---|
| 拼音 | duì zhǔn jīng dù |
| 拼音字母 | dui zhun jing du |
| 拼音首字母 | dzjd |
| 注音 | ㄉㄨㄟˋ ㄓㄨㄣˇ ㄐㄧㄥ ㄉㄨˋ |
| 注音符号 | ㄉㄨㄟ ㄓㄨㄣ ㄐㄧㄥ ㄉㄨ |
扩展释义
光刻机的对准系统（alignment）负责把掩模上存在的图形与晶圆上已有的图形进行对准，对准精度（Alignment Precision，AP）则为掩模上与晶圆上图形对准时套刻的精度。
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