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衍射光学元件

yǎn shè guāng xué yuán jiàn · ㄧㄢˇ ㄕㄜˋ ㄍㄨㄤ ㄒㄩㄝˊ ㄩㄢˊ ㄐㄧㄢˋ

updated: 2026-07-16 07:29:43

释义

「衍射光学元件」是什么意思?

词语衍射光学元件
拼音yǎn shè guāng xué yuán jiàn
拼音字母yan she guang xue yuan jian
拼音首字母ysgxyj
注音ㄧㄢˇ ㄕㄜˋ ㄍㄨㄤ ㄒㄩㄝˊ ㄩㄢˊ ㄐㄧㄢˋ
注音符号ㄧㄢ ㄕㄜ ㄍㄨㄤ ㄒㄩㄝ ㄩㄢ ㄐㄧㄢ

扩展释义

衍射光学元件(Diffractive Optical Elements, DOE)是光刻机中一系列可动的镜片(图1所示),主要用于产生光刻所需要的光源。一台光刻机的光源大概有4000片镜片。

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