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离子束外延
updated: 2026-07-11 06:13:38
释义
「离子束外延」是什么意思？
| 词语 | 离子束外延 |
|---|---|
| 拼音 | lí zi shù wài yán |
| 拼音字母 | li zi shu wai yan |
| 拼音首字母 | lzswy |
| 注音 | ㄌㄧˊ ㄗ˙ ㄕㄨˋ ㄨㄞˋ ㄧㄢˊ |
| 注音符号 | ㄌㄧ ㄗ ㄕㄨ ㄨㄞ ㄧㄢ |
扩展释义
离子束外延是在真空环境中，用含有外延生长所需元素的低能离子束在衬底上生长单晶薄层的工艺。
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