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等离子蚀刻机
updated: 2026-07-16 04:18:06
释义
「等离子蚀刻机」是什么意思？
| 词语 | 等离子蚀刻机 |
|---|---|
| 拼音 | děng lí zi shí kè jī |
| 拼音字母 | deng li zi shi ke ji |
| 拼音首字母 | dlzskj |
| 注音 | ㄉㄥˇ ㄌㄧˊ ㄗ˙ ㄕˊ ㄎㄜˋ ㄐㄧ |
| 注音符号 | ㄉㄥ ㄌㄧ ㄗ ㄕ ㄎㄜ ㄐㄧ |
扩展释义
等离子刻蚀机，又叫等离子蚀刻机、等离子平面刻蚀机、等离子体刻蚀机、等离子表面处理仪、等离子清洗系统等。等离子刻蚀，是干法刻蚀中最常见的一种形式，其原理是暴露在电子区域的气体形成等离子体，由此产生的电离气体和释放高能电子组成的气体，从而形成了等离子或离子，电离气体原子通过电场加速时，会释放足够的力量与表面驱逐力紧紧粘合材料或蚀刻表面。某种程度来讲，等离子清洗实质上是等离子体刻蚀的一种较轻微的情况。进行干式蚀刻工艺的设备包括反应室、电源、真空部分。工件送入被真空泵抽空的反应室。气体被导入并与等离子体进行交换。等离子体在工件表面发生反应，反应的挥发性副产物被真空泵抽走。等离子体刻蚀工艺实际上便是一种...
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