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磁控溅射法
updated: 2026-07-15 22:10:56
释义
「磁控溅射法」是什么意思？
| 词语 | 磁控溅射法 |
|---|---|
| 拼音 | cí kòng jiàn shè fǎ |
| 拼音字母 | ci kong jian she fa |
| 拼音首字母 | ckjsf |
| 注音 | ㄘˊ ㄎㄨㄥˋ ㄐㄧㄢˋ ㄕㄜˋ ㄈㄚˇ |
| 注音符号 | ㄘ ㄎㄨㄥ ㄐㄧㄢ ㄕㄜ ㄈㄚ |
扩展释义
磁控溅射法是在高真空充入适量的氩气，在阴极（柱状靶或平面靶）和阳极（镀膜室壁） 之间施加几百K 直流电压，在镀膜室内产生磁控型异常辉光放电，使氩气发生电离。
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