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聚焦环
updated: 2026-07-16 11:40:29
释义
「聚焦环」是什么意思？
| 词语 | 聚焦环 |
|---|---|
| 拼音 | jù jiāo huán |
| 拼音字母 | ju jiao huan |
| 拼音首字母 | jjh |
| 注音 | ㄐㄩˋ ㄐㄧㄠ ㄏㄨㄢˊ |
| 注音符号 | ㄐㄩ ㄐㄧㄠ ㄏㄨㄢ |
扩展释义
聚焦环和等离子体处理装置，在可以提高处理的面内均匀性的同时，与现有技术比较，还可以减小淀积对半导体晶片的周缘部分背面一侧的发生。
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